陈舟先把沈靖整理好的10组实验数据进行了汇总,然后便开始参照薄膜制备工艺的研究方法。
先通过大量的文献资料,把所有的问题摆出来,寻找解决的思路。
再结合四十三所的这10组实验数据,通过错题集进行试错。
而沈靖,则被陈舟安排了和张一凡一样的任务。
那就是,他需要和方结明一起,构建掺杂实验的分析模型。
“p型掺杂的硼源的选择是bch33,这点应该没有问题。”
“因为bch33作为硼源,有利于硼原子掺入金刚石晶格中的替代位置,可以提高硼的掺入效率……”
“……不同金刚石衬底晶面对制备的硼掺杂金刚石载流子迁移率的影响……”
“……从实验数据和文献资料来看,分别在100、110、111面单晶金刚石衬底上制备硼掺杂金刚石层时……”
“……111和110面金刚石衬底的晶格缺陷捕获了大量硼原子,降低了硼原子的掺入效率,并且存在较强的杂质散射,使迁移率低于100面金刚石衬底……”
“所以……”
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