沈靖又转过头去和吴博士小声交流着。

        陈舟却把注意力转移到了实验装置上。

        刚才,吴博士的话提醒了他。

        在金刚石掺杂实验中,载流子浓度,会影响霍尔迁移率。

        而霍尔迁移率便直接反应着金刚石中硼元素的掺杂程度。

        此外,硼元素的掺杂,是通过向mpcvd法制备金刚石薄膜的反应室中加入硼源来实现金刚石的硼掺杂的。

        硼源的话,一般会采用含硼的气体,像b2h6和bch33。

        当硼的掺杂浓度较高时,制备的金刚石掺杂是包含了许多点缺陷、线缺陷和面缺陷的。

        这些缺陷会捕获载流子,影响金刚石材料的霍尔迁移率,进而影响制备的硼掺杂金刚石。

        “果然,无论是金刚石薄膜本身的制备,还是掺杂实验下的单晶金刚石的制备,都是矛盾的实验……”陈舟心里想到。

        想了想,陈舟跟吴博士说了一声,便去n型掺杂实验那边了。

        内容未完,下一页继续阅读